Mikrowellenplasmaunterstützte Prozesse für Anwendungen in der Halbleitertechnologie.

Name: Mikrowellenplasmaunterstützte Prozesse für Anwendungen in der Halbleitertechnologie.
Brand: Fraunhofer Verlag
SKU: 9783839614433
Price: 98 GBP
Availability: OutOfStock
ISBN: 9783839614433

Stephan Altmannshofer author

Format:Paperback

Publisher:Fraunhofer Verlag

Published:18th Mar '19

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Mikrowellenplasmaunterstützte Prozesse für Anwendungen in der Halbleitertechnologie. cover

This paperback, "Mikrowellenplasmaunterstützte Prozesse für Anwendungen in der Halbleitertechnologie." from Stephan Altmannshofer, was published 18th March 2019 by Fraunhofer Verlag.

ISBN: 9783839614433

Dimensions: 210mm x 148mm x 12mm

Weight: 281g

230 pages